一、超纯水设备的发展进程
早期超纯水的需求主要是来自发电、医 化工、造纸等行业,超纯水水质要求相对较低,其制备只要采用离子交换,该方法的主要缺点是化学, 剂再生,既麻烦又不经济,而且由于强行树脂对一般有机分子除去效果差,出水中TOC含量高,随着半导体工业发展,对超纯水质量要求提高,从而大大的推动了纯水技术的发展,到了上个世纪末,膜技术得到了广泛的应用,微滤,超滤,电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展,膜法制备纯水取代了传统的离子交换设备系统,解决了TOC问题,满足了电子行业对纯水质量的要求取设备工艺
传统超纯水制取设备工艺流程:原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水17714079756膜法超纯水制取设备工艺流程:原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水
在膜法工艺中,超滤,微滤替代澄清,石英砂过滤器,活性炭过滤器,除去水中的悬浮物胶体和有机物,降低浊度,SDI,COD等,可以实现反渗透装置对污水回用的安全,高效运行,以反渗透替代离子交换器脱盐,进一步除去有机物,胶体,细菌等杂志,可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求,以EDI代替混床深度脱盐,利用电而不是酸碱对树脂再生,避免了二次污染。
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